ВЛИЯНИЕ СРЕДЫ ТЕРМООБРАБОТКИ НА ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА  СЛОЕВ НЕСТЕХИОМЕТРИЧЕСКОГО НИТРИДА КРЕМНИЯ

dc.contributor.author	Мурзалинов, Данатбек Онгарбекович
dc.date.accessioned	2025-08-06T05:40:42Z
dc.date.available	2025-08-06T05:40:42Z
dc.date.issued	2015
dc.identifier.isbn	978-9965-31-695-1
dc.identifier.uri	http://repository.enu.kz/handle/enu/25376
dc.language.iso	other	ru
dc.publisher	Л.Н. Гумилев атындағы ЕҰУ	ru
dc.title	ВЛИЯНИЕ СРЕДЫ ТЕРМООБРАБОТКИ НА ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА СЛОЕВ НЕСТЕХИОМЕТРИЧЕСКОГО НИТРИДА КРЕМНИЯ	ru
dc.type	Article	ru