ВЛИЯНИЕ ЭЛЕКТРОННОГО ОБЛУЧЕНИЯ НА ПОВЕРХНОСТЬ КРЕМНИЯ

dc.contributor.author	Калекперов, Малик Ерланович
dc.contributor.author	Шлимас, Дмитрий Игорьевич
dc.date.accessioned	2025-10-06T11:05:40Z
dc.date.available	2025-10-06T11:05:40Z
dc.date.issued	2016
dc.identifier.isbn	978-9965-31-764-4
dc.identifier.uri	http://repository.enu.kz/handle/enu/26670
dc.language.iso	other	ru
dc.publisher	Л.Н.Гумилев атындағы ЕҰУ	ru
dc.title	ВЛИЯНИЕ ЭЛЕКТРОННОГО ОБЛУЧЕНИЯ НА ПОВЕРХНОСТЬ КРЕМНИЯ	ru
dc.type	Article	ru