ВЛИЯНИЕ СРЕДЫ ТЕРМООБРАБОТКИ НА ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА СЛОЕВ НЕСТЕХИОМЕТРИЧЕСКОГО НИТРИДА КРЕМНИЯ

Автор

Мурзалинов, Данатбек Онгарбекович

Дата

2015

Редактор

Л.Н. Гумилев атындағы ЕҰУ

ISBN

978-9965-31-695-1

URI

http://repository.enu.kz/handle/enu/25376

Открыть

82.pdf (889.7Kb)

Collections

• Физико-технические науки[90]

Показать полную информацию