ГАЛЛИЙОКСИДІНІҢ НАНОҚҰРЫЛЫМДАРЫ: БОЛАШАҚТЫҢ ТЕХНОЛОГИЯЛАРЫНА АРНАЛҒАН ПЕРСПЕКТИВАЛЫҚ МАТЕРИАЛДАР

Abstract

Галлий оксиді Gа2O3 өзінің ерекше физикалық, электрлік және оптикалық қасиеттеріне байланысты жоғары диапазонның ені 4,8 эВ, экстремалды тұрақтылық сияқты бірегей сипаттамаларына байланысты перспективалы кең аймақтық жартылай өткізгіш. Бұл мақалада оның негізгі кристалдық фазалары α, β, γ, δ, ε, олардың құрылымы, тұрақтылығы және материалдың сипаттамаларына әсері қарастырылады. Ең тұрақты фаза болып табылатын және қуат электроникасы мен оптоэлектрондық құрылғылар саласында кеңінен қолданылатын β-Ga₂O₃-ға ерекше назар аударылады. Әр түрлі полиморфты Gа2O3 модификациялары, олардың фазалық ауысу механизмдері және термодинамикалық тұрғыдан ең тұрақты фаза болып табылатын β-Gа2O3 түзілу ерекшеліктері егжей-тегжейлі қарастырылады. Жұқа пленкалы құрылымдарды, нанородтарды, нано ұнтақтарды және жаппай галлий оксидін алудың озық технологиялары, сонымен олардың материалдың функционалдық сипаттамаларына әсері талданады. Галлий оксидін одан әрі зерттеу оның өткізгіштігін оңтайландыруға, фотосезімталдықты жақсартуға және микроэлектроника мен нанотехнологияда қолдану аясын кеңейтуге бағытталған зерттеулер оны болашақта перспективалық материал етеді.